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產品詳情

  • 產品名稱：重慶直供HUGLE藤宮全自動FOUP清潔系統西南區客戶共享資源

  • 產品型號：全自動FOUP清潔系統UPC-12500SORA
  • 產品廠商：HUGLE藤宮
  • 產品價格：0
  • 折扣價格：0
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簡單介紹：
重慶直供HUGLE藤宮全自動FOUP清潔系統西南區客戶共享資源 重慶內藤機械設備有限公司 重慶直供HUGLE藤宮全自動FOUP清潔系統西南區客戶共享資源
詳情介紹：

全自動FOUP清潔系統UPC - 12500 SORA

 

300毫米作為晶圓的FOUP的自動清洗系統，模型改變UPC-12100，已經取得的經驗和世界**的信心。現代半導體制造業已得到改進必不可少的高品質，高通量和節能概念。它符合UL和CE標準以及SEMI標準。自動傳輸系統（AMHS）兼容，與GEM 300兼容的通信協議，適用于在線管理。
請務必考慮世界上***別的FOUP清潔設備。

 
產品概述

●高通量
●足跡設計
●節能
●全自動FOUP開放的交叉污染預防由
超精密用●2流體噴射清洗系統清洗
●高效率的干燥系統
●SEMI通信標準GEM300對應
●高交付
●SEMI S2， S8，符合CE標準

規范
裝置主體：2200（寬）×3250（深）×2500（高）毫米（不包括投影） 
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