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產品詳情
  • 產品名稱:廠家直銷 SIMCO思美高 內聯N 2離子發生器模型 思美高內聯電離器

  • 產品型號:內聯N 2離子發生器模型
  • 產品廠商:SIMCO思美高
  • 產品價格:0
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簡單介紹:
廠家直銷 SIMCO思美高 內聯N 2離子發生器模型 思美高內聯電離器 即使在高純度N 2環境中,4214型離子發生器也支持“擴展ISO 1級,10 nm”的高潔凈度,并實現出色的離子平衡。 廠家直銷 SIMCO思美高 內聯N 2離子發生器模型 思美高內聯電離器
詳情介紹:
特點
  • 采用超低粒子單晶硅電極。
  • 通過獨特的清潔機制確保穩定的長期清潔,不會將顆粒釋放到外面
  • 采用不需要任何調整的智能控制電路
  • 通過內置傳感器持續監控離子發生,實現可靠的靜電消除
  • 集成的緊湊型設計,內置控制器和電源
  • 自動高壓切斷功能可在低流速下保護產品
  • 適用于超低粒子應用,如先進的半導體制造工藝
  • 24 V DC驅動器
 
規范
輸入電壓 24 V DC +/- 5%6 W Typ。
離子平衡 <+/- 25 V 150 mm距離40 LPM無管道連接
靜電消除時間 <10秒150 mm距離40 LPM無管道連接
+/- 1 kv→+/- 100 v取決于帶電的印版監視器
離子發生方法 電暈放電型高頻交流系統
清潔度 ISO Class 1,0.1微米“擴展ISO Class 1,10 nm”*
電極 單晶硅可交換
相應的吹掃氣體 N 2> 99.998%
流量 40 LPM(36.5 Kpa)至90 LPM(171 kPa)
*大吹掃壓力 207 Kpa(= 100 LPM流量)
*高氣體溫度 60攝氏度
N 2吹掃連接 世偉洛克3/8“外徑管道
電離N 2連接
世偉洛克1/2“外徑管道連接,帶1 / 4NPT內螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC
工作溫度范圍 15至60攝氏度
信號輸出 打開/關閉觸點時的報警和離子減少輸出
長度152.4 mm x寬度72.4 mm x深度32 mm 
不包括管道部分
重量 640克
外觀 不銹鋼
安裝方法 背面M5螺釘螺釘長度小于10 mm

關于擴展的ISO Class 1,10 nm
?ION Systems為了應對細顆粒管理而獨特定義的清潔度定義。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100nm。擴展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數目的同一允許數將是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一個粒徑10nm的

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