■支持超低粒子使用單晶硅電極。
■獨(dú)特的不向外部排放顆粒的清潔機(jī)制，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定的清潔水平
■使用無(wú)需任何調(diào)整的智能控制電路
■內(nèi)置傳感器持續(xù)監(jiān)測(cè)離子產(chǎn)生，實(shí)現(xiàn)可靠的靜電消除
■控制器、電源內(nèi)置集成緊湊型設(shè)計(jì)
自動(dòng)高壓關(guān)閉功能，在低流量下保護(hù)產(chǎn)品適用于先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝和其他超低顆粒應(yīng)用
24V DC 驅(qū)動(dòng)

規(guī)格

輸入電壓	24V DC+/-5% 6W 典型值。
離子平衡	<+/-25V 150mm 距離 40LPM 無(wú)管道連接
靜電消除時(shí)間	<10 秒 150 毫米距離 40LPM 無(wú)管道 +/-1kv → +/- 100v 通過(guò)充電板監(jiān)視器
離子發(fā)生法	電暈放電型高頻交流方式
清潔度	ISO Class1,0.1 微米 “擴(kuò)展 ISO Class1,10nm”*
電極	單晶硅可更換
相應(yīng)的吹掃氣體	N2 > 99.998%
流量	40LPM (36.5Kpa) 至 90LPM (171kpa)
*大吹掃壓力	207Kpa (=100LPM 流量)
*高氣體溫度	60攝氏度
N2 吹掃連接	世偉洛克 3/8" 外徑管道
電離 N2 連接	世偉洛克 1/2" OD 管道連接，帶 1/4NPT 內(nèi)螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC
工作溫度限制	15至60攝氏度
信號(hào)輸出	開(kāi)/關(guān)觸點(diǎn)處的警報(bào)和低離子輸出
尺寸	長(zhǎng) 152.4mm x 寬 72.4mm x 深 32mm 不包括管道
重量	640克
外部的	不銹鋼
安裝方式	背面M5螺絲螺絲長(zhǎng)度必須小于10mm

擴(kuò)展的 ISO 1 級(jí)，10nm
是 ION Systems **定義的清潔度定義，以支持細(xì)顆粒物管理。ISO14644-1 定義*小粒徑為 100nm。擴(kuò)展 ISO 等級(jí) 1,10nm 使用與 ISO14644-1 相同的允許顆粒數(shù)計(jì)算公式，對(duì)于 10nm 或更大的晶粒尺寸，允許的顆粒數(shù)為 1200pc/m3 (34 pc/ft3)。

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產(chǎn)品名稱(chēng)：日本SIMCO思美高4214 型離子發(fā)生器

特征

規(guī)格