準分子燈

封入氙氣的準分子(Excimer)燈（誘電體屏障放電Excimer燈）可有效放射波長180nm以下的VUV（真空紫外線），達到超越以往的化學反應與反應速度。

USHIO光照射裝置用準分子燈

特征

單一波長、低溫處理

因為是單一波長，因此可選擇會引起化學反應的紫外線，并可達到不使對象物產生非必要反應或熱的低溫處理。

高效率

從電力轉換為光能源的效率高（172nm型的轉換率10%)，即使低電力亦可產生大的能量。

可瞬間亮燈滅燈

僅于必要時照射必要量的能量，因此具備不需要快門、實際上可延長使用壽命等各種優點。

安裝方向不受限制

燈的亮燈方向不受限制，可配合生產線做立面照射。

USHIO光照射裝置用準分子燈

分光分布

USHIO光照射裝置用準分子燈

半導體制程用裝置實例

USHIO光照射裝置用準分子燈

液晶制程用裝置實例

USHIO光照射裝置用準分子燈

主要用途

HDD光盤洗凈
阻劑剝離
阻劑殘渣的剝離
塑料基板的洗凈
金屬表面的清洗與重組
Low-k Cure 
PDP熒光體評估
分析評估前的洗凈
氣體分解
形成氧化膜
防止帶電
干燥
玻璃膠膜的貼合
纖維的改質
有機EL封裝管的接合性提升
有機EL的工作函數増加

測試機介紹

提供使用產品的實驗或測試機。測試后可直接購買。
※部份使用目的與用途等無法配合需求。敬請見諒